Vákuumos bevonó berendezésműködés közben gyakran találkozik váratlan helyzetekkel, mint például vízkimaradás, áramkimaradás vagy levegőszivárgás. Amikor ezekkel a helyzetekkel szembesülnek, a kezelők tanácstalanok lehetnek, és nem tudják, hogyan kezeljék ezeket. Az alábbiakban a Puyuan Vacuum részletes vészhelyzeti tervet nyújt a vákuumbevonó berendezések működéséhez:
1. A PVD-bevonatoló berendezést bizonyos működési idő után meg kell tisztítani.
Egy bizonyos működési időszak, jellemzően 50-70 kemenceciklus után a PVD-bevonó berendezést meg kell tisztítani, hogy eltávolítsa a port a kemencéből. Ezután futtassa egyszer a kemencét terhelés nélkül. Az eljárás abból áll, hogy először a kemencét evakuálják 10-2 Pa-nál magasabb vákuumszintre, majd a normál működési hőmérsékletnél általában 20 fokkal magasabb hőmérsékletre melegítik. Tartsa ezt a hőmérsékletet a lehető legmagasabb szinten legalább egy órán keresztül, majd hagyja természetes módon lehűlni. Ez a folyamat tisztán tartja a vákuumbevonó berendezés belső terét.
2. A gázpalack cseréje
Ha a vákuumbevonatoló berendezésben használt gázpalackot cserélni kell, távolítsa el a nyomásszabályozó szelepet és cserélje ki egy új palackra. Ügyeljen arra, hogy a telepítés során ne legyen szivárgás. A henger cseréje után, a munkadarab felmelegítése előtt a kemencét az evakuálási folyamat során át kell öblíteni, hogy a hengercsere során a csővezetékben rekedt levegőt eltávolítsák, az öblítővezetéket tisztán tartva.
3. Vigyen fel kis mennyiségű kenőolajat a forgó alkatrészekre.
Kenés céljából vigyen fel kis mennyiségű vákuumszivattyú-olajat a forgó alkatrészekre. Győződjön meg arról, hogy a vákuumszivattyú tiszta, vas-, homok- és pormentes. Biztosítson jó érintkezést a helymeghatározó rendszerben. A vákuumszivattyúnak könnyen kell forognia, egyenetlenségek vagy súlyos eltömődés nélkül.
4. Normál működés közben hirtelen levegőszivárgás észlelve
Ha normál működés közben hirtelen levegőszivárgást észlel, és a szivárgási hely azonnal meghatározható, azt vákuumtömítőanyaggal le kell zárni. A jelenlegi munkák befejezése után további javítások végezhetők. Ha a szivárgást nem lehet megállapítani, azonnal le kell állítani a munkát, és el kell végezni a javítást.
5. Víz- és áramszünet magas hőmérsékleten
A vákuumberendezések leginkább ki vannak téve a víz- és áramkimaradásoknak magas hőmérséklet esetén. Ezért a felhasználóknak ideális esetben tartalék víztartályt kell telepíteniük, vagy csapvízhez kell csatlakoztatniuk a berendezés telepítése során. Ha a berendezés víz- vagy áramkimaradást tapasztal magas hőmérsékleten, minden szivattyút és szelepet zárni kell. A kezelőknek azonnal csatlakoztassanak a tartalék vízvezetéket vagy a csapvizet a vízhez,{3}}hogy lehűtsék a berendezést. Ha az áramellátást nem lehet gyorsan helyreállítani, a felfújó/leeresztő rendszer kézi felfúvó szelepét ki kell nyitni a berendezés felfújásához a védelem érdekében, körülbelül -0,02 MPa felfújási nyomással. Ezután fordítsa a kapcsolószekrény összes gombját "ki" állásba. Ezzel egyidejűleg vigyen fel nedves törülközőt az elektróda kivezető felületére, és rendszeresen cserélje ki, hogy elkerülje az elektróda interfész túlmelegedését és a tömítőgyűrű sérülését.
Vákuumos bevonóberendezésekkel dolgozó mérnökként elengedhetetlen a vészhelyzeti reagálási tervek elsajátítása. Az üzemelés során váratlan helyzetek adódhatnak, a szükségtelen veszteségek elkerülése érdekében elengedhetetlen az időben történő beavatkozás.
