Sok vásárló összezavarodik a vásárlás soránvákuumos bevonógépek. Tudják, hogy milyen típusú és típusú bevonógépre van szükségük, de nem tudják meghatározni, hogy milyen szabványoknak kell megfelelnie a gépnek, hogy jó minőségűnek és jó minőségűnek tekintsék-. Ez a zűrzavar sok kitérő megtételére készteti őket. Az alábbiakban a Puyuan Vacuum részletesen bemutatja azokat az alapvető műszaki követelményeket, amelyeknek egy vákuumbevonatoló gépnek meg kell felelnie.
Vákuumos bepárlás, katódionizálás, mágnesporlasztás:
1.A berendezésben lévő vákuumcsövek és statikus tömítőelemek szerkezetének meg kell felelnie a GB/T6070 szabványnak.
2.Vákuummérőket kell felszerelni az alacsony{0}}vákuum és a nagy-vákuum csővezetékekre, valamint a vákuumbevonat kamrára, hogy megmérjék a vákuumszintet minden helyen. Ha az elektromos tér interferenciáját észleli, elektromos tér árnyékoló berendezést kell felszerelni a mérőcsatlakozóra.
3.Ha a PVD bevonatoló berendezésben használt fő szivattyú diffúziós szivattyú, akkor a szivattyú bemeneti oldalán olajgőzleválasztót kell felszerelni.
4. A vákuumbevonó berendezés bevonó kamráját figyelőablakkal és terelőberendezéssel kell felszerelni. A megfigyelési ablaknak lehetővé kell tennie a lerakódási forrás és más kritikus összetevők működési állapotának megfigyelését.
5. Az ionbevonatú lerakódási forrás kialakításának maximalizálnia kell az ionizációs sebességet a bevonási folyamat során, javítania kell a bevonóanyag felhasználási sebességét, racionálisan illeszkednie kell a leválasztási forrás teljesítményéhez, és racionálisan kell elrendeznie a leválasztási forrás helyzetét a vákuumkamrában.
6.A fűtőberendezést racionálisan kell elhelyezni; általában a fűtőszerkezet elrendezésének biztosítania kell a bevonandó munkadarab egyenletes hőmérséklet-emelkedését.
7. A munkadarab-tartót szigetelni kell a vákuumkamrától, és a munkadarab-tartó kialakításának biztosítania kell, hogy a munkadarab-filmréteg egyenletes legyen.
8. Az ionos vákuumbevonatoló gépeknek általában negatív előfeszítő feszültséggel és ionbombázásos tápegységgel kell rendelkezniük. Az ionbombázásos tápegységnek rendelkeznie kell egy olyan eszközzel, amely elnyomja a rendellenes kisülést és fenntartja a stabil működést.
9.A vákuumkamra különböző, különböző potenciálokra csatlakoztatott részei közötti szigetelési ellenállás értékeknek meg kell felelniük a GB/T11164-1999 4.4.6.
10. Egyéb óvintézkedések
(1) Környezeti hőmérséklet: 10-30 fok
(2) Relatív páratartalom: legfeljebb 75%
(3) A hűtővíz bemeneti hőmérséklete: legfeljebb 25 fok
(4) Hűtővíz minősége: kommunális csapvíz vagy azzal egyenértékű víz.
(5) Tápellátás: 380 V három-fázisú 50 Hz vagy 220 V egy-fázisú 50 Hz (a használt elektromos készülékektől függően); feszültségingadozási tartomány: 342-399V vagy 198-231V; frekvencia ingadozási tartomány: 49-51Hz.
(6) A berendezés által igényelt nyomást, hőmérsékletet és sűrített levegő, folyékony nitrogén, hideg víz, meleg víz stb. fogyasztását a termék használati útmutatójában kell megadni.
(7) A berendezés környezetének tisztának kell lennie, és a levegőnek mentesnek kell lennie portól vagy gázoktól, amelyek az elektromos alkatrészek vagy más fém alkatrészek korrózióját vagy fémek közötti vezetést okozhatnak.
