Bevezetés a vákuumcsőbevonat elvébe a vákuumbevonatoló gépekben

Dec 31, 2025

Hagyjon üzenetet

PVD coating machine

 

A vákuumbevonatoló gépekben a vákuumcsőbevonat elve az, hogy az elektromos tér hatására a szubsztrátum felé felgyorsult elektronok argonatomokkal ütköznek, nagyszámú argonionokká és elektronokká ionizálódnak. Az elektronok ezután a szubsztrát felé repülnek. Az elektromos tér által felgyorsított argonionok bombázzák a célanyagot, és nagyszámú célatomot szórnak ki, amelyek semleges célatomként (vagy molekulaként) lerakódnak a szubsztrátumra, és filmet alkotnak. A másodlagos elektronokat a szubsztrát felé történő gyorsulásuk során a mágneses tér Lorentz-ereje befolyásolja, és a célfelület közelében lévő plazmaterületre korlátozódnak. Ennek a régiónak nagy a plazmasűrűsége, és a másodlagos elektronok a mágneses tér hatására körkörösen mozognak a célfelület körül.

 

Ez a hosszú mozgásút magában foglalja az argonatomokkal való folyamatos ütközéseket, amelyek nagyszámú argonionokká ionizálódnak, amelyek bombázzák a célanyagot. Többszöri ütközés után az elektronok fokozatosan energiát veszítenek, kiszabadulnak a mágneses erővonalakból, eltávolodnak a célanyagtól, végül lerakódnak a hordozóra. Most egy közepes-frekvenciájú magnetronos porlasztó célpont hozzáadásával a film elpárolgó molekuláit a célanyag felgyorsítja és bombázza elektromos tér hatására, nagyszámú célatomot kiporlasztva.

 

A semleges célatomok (vagy molekulák) a szubsztrátumon lerakódva filmet képeznek, ami megoldja az olyan filmtípusok problémáját, amelyeket korábban természetes párologtatással nem lehetett feldolgozni, mint például a titán bevonat, cirkónium bevonat stb.

 

Jelenleg az alumínium{0}}nitrogén-kompozit fóliát általában vákuumcsövekben használják. A teljes film három rétegből áll: belső, középső és külső rétegből, mindegyiknek megvan a maga funkciója. A belső réteg egy fényvisszaverő réteg, melynek fő funkciója, hogy megakadályozza a csőben lévő forró víz hőjének kisugárzását.

 

A középső réteg egy abszorpciós réteg, amelynek fő feladata a fényenergia elnyelése és hőenergiává alakítása.

A külső réteg egy tükröződésmentes -réteg, amelynek fő funkciója a napfény visszaverődésének csökkentése és a napfény elnyelési sebességének növelése.

 

 

A szálláslekérdezés elküldése
Vegye fel velünk a kapcsolatotHa bármilyen kérdése van

Vagy kapcsolatba léphet velünk telefonon, e -mailben vagy online űrlapon keresztül. Szakemberünk hamarosan kapcsolatba lép.

Vegye fel a kapcsolatot most!