1. A vákuumbevonat alapszerkezete
A vákuumbevonó gép egy olyan eszköz, amely vékony vagy kémiai módszerekkel a szubsztrát felületére vákuumkörnyezetben vékony fóliát helyez el. Alapszerkezete a következő részeket tartalmazza:
1. vákuumrendszer: Mechanikus szivattyúból, molekuláris szivattyúból, diffúziós szivattyúból stb., Amelyet a bevonkamara nagy vákuumkörnyezetre szivattyúzzanak 10⁻3 ~ 10⁻⁶ PA -ban (lásd a „vákuumbevonat -technológiai kézikönyv”). Például a mechanikus szivattyú csökkentheti a nyomást 1 ~ 10 pa -ra, és a molekuláris szivattyú tovább csökkentheti azt 10 ° PA alá.
2. Bevonkamra: A főtest egy rozsdamentes acél üreg, amely korrózióálló és erős tömítéssel rendelkezik. A méret 0,5 m³-től a kis laboratóriumoknál 5 m³-ig terjed az ipari minőségben (például az ULVAC ARL-300 modellje).
3. párolgási forrás: Válassza ki az ellenállás fűtését, az elektronnyalábot vagy a mágneses porlasztási forrást a folyamatkövetelmények szerint. Például az elektronnyaláb -párolgási forrás ereje elérheti a 10 kW -ot, és a párolgási sebesség körülbelül 1 ~ 5 nm/s.
2. Különböző típusú bevonógépek összetételének különbségei
1. Fizikai gőzlerakódás (PVD) berendezés:
- A Magnetron porlasztó bevonógépeket célanyagokkal (például titán célok, alumínium célok) és mágneses mező rendszerekkel kell felszerelni, és a működő gáznyomás általában 0,1 ~ 10 pa.
- Az ívionok bevonógépei ívforrásokat adnak hozzá, az áram elérheti a 100 ~ 200 A -t, és a film adhéziója erősebb.
2. Kémiai gőzlerakódás (CVD) berendezés:
- Bevezetni kell a reaktív gázokat (például SIH₄, CH₄), és fel kell szerelni egy gázáram -szabályozó rendszert, ± 1 SCCM pontossággal (standard milliliterek/perc).
3. kiegészítő rendszerek és kulcsfontosságú műszaki paraméterek
1. Vezérlőrendszer: A PLC vagy az ipari számítógépet a vákuum, a hőmérséklet (± 1 fokos pontosság) és a filmvastagság (kvarc kristály rezgési módszerrel mérve, pontosság ± 0,1 nm) monitorozására használják valós időben.
2. Hűtőrendszer: A vízhűtővezeték tervezési áramlási sebessége általában 20 ~ 50 l/perc, a berendezés hosszú távú működési stabilitásának biztosítása érdekében.
Iv. Alkalmazási forgatókönyvek és kiválasztási ajánlások
1. Optikai bevonat: Magas egységességet igényel (± 1% vastagság eltérés), és ki kell választania egy multi-előterjeszthető elektronnyaláb-párolgási forrást.
2. szerszámbevonat: A keménységre összpontosít (például az ónbevonat elérheti a 2000 HV -t), és az ívion -borító berendezéseket részesítik előnyben.
A fenti elemzés révén a felhasználók kiválaszthatják a megfelelő bevonógép típusát és konfigurációját a tényleges igények szerint (például a filmteljesítmény, a termelési hatékonyság).
