A magnetron porlasztó berendezések elsősorban a következő alkatrészekből állnak:
1. célanyag: A mágneses porlasztó berendezések alapvető alkotóeleme, általában fémből, ötvözetből és egyéb anyagokból.
2. vákuumkamra: A mágneses porlasztó berendezések működési környezetét nagy vákuum körülmények között kell elvégezni, és a vákuumkamra a vákuum fenntartásában szerepel.
3. Magnetron rendszer: A mágneses mezőt a célanyag felületén lévő ionbombázás szabályozására használják, hogy porlasztást okozhassanak.
4. szubsztrátkeret: A feldolgozandó szubsztrát anyag támogatására szolgál.
5. Fűtési rendszer: Bizonyos esetekben a célanyagot és a szubsztrátot melegíteni kell a porlasztási folyamat szabályozásához.
