Az elektromos vezérlőszekrény üzemeltetése
1. Kapcsolja be a vízszivattyút és a gázforrást.
2. Kapcsolja be a fő tápegységet.
3. Kapcsolja be a karbantartási szivattyú és a vákuummérő tápegységét, valamint a v1 vákuummérő helyzetét. Várja meg, hogy az értéke kevesebb legyen, mint 10, mielőtt belépne a következő lépésbe. Körülbelül 5 percig tart.
4. Kapcsolja be a mechanikus szivattyút, a szivattyú, kapcsolja be a turbomolekuláris szivattyú tápegységét, és indítsa el. Kapcsolja a vákuummérő váltást V2 helyzetre, és szivattyúzza, amíg kevesebb, mint 2. Körülbelül 20 percig tart.
5. Miután megfigyelte, hogy a turbomolekuláris szivattyú leolvasása eléri a 250-et, kapcsolja ki a pumpot, kapcsolja be az első szivattyút és a nagy vákuumszelepet a porszívás folytatásához. Miután a vákuum eléri egy bizonyos szintet, a jobb oldalon lévő nagy vákuummérőt be lehet kapcsolni a vákuumfokok megfigyelése érdekében. Az elektronpisztoly tápegységét csak akkor lehet bekapcsolni, ha a vákuum eléri a 2 × 10-3-at.
DEF-6B
1. Fő tápegység.
2. Kapcsolja be az elektronpisztoly vezérlésének erejét és az elektronpisztoly vezérlést ⅱ Egyidejűleg: Nyomja meg az elektronpisztoly vezérlésének teljesítményét és késleltetési kapcsolóját. Ha a hátsó ajtó nincs bezárva, vagy a vízáram -relé hibás, a védelmi lámpa mindig be lesz kapcsolva.
3. Kapcsolja be a nagyfeszültséget, a nagyfeszültség eléri a 10 kV -ot, állítsa be a sugáráramot kb. 200 mA -ra, a függönyrács 20 V/100 mA, az izzószál árama 1,2a, és az eltérési áram 1 és 1,7 között ingadozik.
Leállítási sorrend
1. Kapcsolja ki a nagy vákuummérőt és a molekuláris szivattyút.
2. Amikor a molekuláris szivattyú 50 megjelenik, kapcsolja ki a magas szelepet, az első fázist és a mechanikus szivattyút egymás után. Ez az időszak körülbelül 40 percig tart.
3. Ha 50 alatt van, kapcsolja ki a karbantartási szivattyút.
