Az optikai bevonógép munkafolyamata általában a következő fő lépéseket tartalmazza: előkezelés, bevonat, filmfigyelés és beállítás, hűtés és eltávolítás. A specifikus folyamat a berendezés típusától (például a párolgási bevonógép, a porlasztó bevonógép stb.) És a bevonási folyamattól (például egyrétegű film, többrétegű film stb.) Függetlenül változhat, de általában az optikai bevonat folyamata a következő:
1. Előkészítési szakasz
Optikai alkatrészek tisztítása és előkészítése:
A bevonat előtt az optikai alkatrészeket (például lencséket, szűrőket, optikai üveg stb.) Alaposan meg kell tisztítani. Ez a lépés az alapja a bevonat minőségének biztosításához. Általános tisztítási módszerek közé tartozik az ultrahangos tisztítás, a savtisztítás, a gőztisztítás stb.
A tisztított optikai alkatrészeket általában a bevonógép forgó eszközére vagy szorító rendszerére helyezik annak biztosítása érdekében, hogy a bevonási folyamat során stabilak maradjanak.
A vákuumkamra előkezelése:
Mielőtt az optikai alkatrészeket a bevonógépbe helyezi, a bevonatot egy bizonyos vákuumfokozatra kell evakuálni. A vákuumkörnyezet hatékonyan eltávolíthatja a szennyeződéseket, az oxigén- és vízgőzöket a levegőben, megakadályozhatja, hogy reagáljanak a bevonó anyaggal, és biztosítsák a film tisztaságát és minőségét.
Általában a bevonatkamrának nagy vákuumot (10–10⁻⁶ PA) vagy közepes vákuumot (10–10⁻⁴ PA) kell elérnie.
2. Bevonási folyamat
Bevonat forrásának indítása:
A bevonatforrás általában a párolgási forrást vagy a porlasztási forrást alkalmazza. Különböző bevonatforrásokat választunk a különböző bevonási folyamatok és anyagok alapján.
Polgározási forrás: Használjon fűtőberendezéseket (például elektronnyaláb -elpárologtatót vagy ellenállás -fűtő párologtatót) a bevonó anyagot a párologtatási állapotba, hogy molekulái vagy atomjai elpárologjanak, és az optikai elem felületére helyezzék a vákuumban.
Sporting Forrás: A célanyagokhoz, atomokkal vagy molekulákkal ütköznek a célanyag nagyfeszültségének alkalmazásával, és ezek az atomok vagy molekulák az optikai elem felületén lerakódnak, és vékony fóliát képeznek.
Vékony film anyag lerakódása:
Vákuumkörnyezetben a bevonó anyag elpárolog vagy kipusztul a forrásból (például párolgási forrás vagy célanyag), és fokozatosan lerakódik az optikai elem felületén.
A lerakódási sebességet és a filmvastagságot pontosan ellenőrizni kell annak biztosítása érdekében, hogy a filmréteg egységes, folyamatos és megfeleljen a tervezési követelményeknek. A lerakódási folyamat során bekövetkező paraméterek (például áram, gázáram, hőmérséklet stb.) Közvetlenül befolyásolják a film minőségét.
Vékony film megfigyelése és vastagságvezérlése:
A bevonási folyamat során a film vastagságát és minőségét általában valós időben figyelik. A leggyakrabban használt megfigyelő eszközök olyan érzékelőket tartalmaznak, mint a ** kvarc kristály mikrobálisság (QCM) **, amely pontosan képes észlelni a film lerakódási sebességét és vastagságát.
Ezen megfigyelési adatok alapján a rendszer automatikusan beállíthatja a paramétereket, például a bevonatforrás teljesítményét, a gázáramot vagy az összetevő forgási sebességét a filmréteg konzisztenciájának és egységességének fenntartása érdekében.
Többrétegű film (ha szükséges):
Az optikai alkatrészek esetében, amelyek többrétegű filmszerkezetet igényelnek, a bevonási folyamatot általában rétegenként hajtják végre. Miután minden filmréteg lerakódott, a rendszer ismételt filmvastagság -észlelést és beállítást hajt végre annak biztosítása érdekében, hogy az egyes rétegek minősége megfelel -e a tervezési követelményeknek.
Ez a folyamat megköveteli az egyes rétegek vastagságának és anyag típusának pontos ellenőrzését annak biztosítása érdekében, hogy minden réteg működjön egy adott hullámhossz -tartományon belül, például reflexió, átvitel vagy interferencia.
3. Hűtés és eltávolítás
Hűtés:
A bevonat után az optikai alkatrészeket és a bevonógépet lehűlni kell. Mivel a berendezések és az alkatrészek felforrósodhatnak a bevonási folyamat során, azokat szobahőmérsékletre kell lehűteni egy hűtőrendszeren (például hűtővíz vagy légáramlás) révén, hogy megakadályozzák a hőkárosodást.
Néhány magas hőmérsékletű bevonási folyamatban a hűtés nemcsak az optikai komponenseket védi, hanem lehetővé teszi a film számára az optimális tapadást és stabilitást is.
Az optikai alkatrészek eltávolítása:
Hűtés után az optikai alkatrészek eltávolíthatók a bevonógépből.
Az eltávolítás előtt ellenőrizni kell a bevonathatást, beleértve a filmréteg egységességét, vastagságát, tapadását stb.
4. A kezelés utáni (opcionális)
Filmkeményítés:
Időnként a bevonat utáni filmet meg kell erősíteni a film karcolása és tartósságának javítása érdekében. Ezt általában hőkezeléssel vagy ultraibolya besugárzással végzik.
Filmtisztítás:
A szennyező anyagok, zsírok vagy egyéb szennyeződések eltávolításához a film felületén enyhe tisztításra lehet szükség, például mosás, ultrahangos kezelés stb.
5. Minőségi ellenőrzés és tesztelés
Optikai teljesítményteszt: A bevonat után az optikai alkatrészeken végzett teljesítményvizsgálatokat végeznek, ideértve az áthelyezést, a reflexiót, a film egységességét stb.
Adhéziós teszt: Ellenőrizze, hogy a film és a szubsztrát közötti tapadás szilárd -e a szalagos teszt vagy a karcoló teszt révén.
Környezetvédelmi stabilitási teszt: Időnként stabilitási tesztek környezeti körülmények között, például hőmérséklet, páratartalom és ultraibolya sugarak szükségesek a bevonatréteg megbízhatóságának biztosításához a tényleges alkalmazásokban.
