A multi-ív bevonógép működési elve

A multi-ARC bevonógép magas hőmérsékletű plazmát generál több ívforráson keresztül (4-16), elpárologtatja a fém anyagot, és a szubsztrát felületére lerakja, hogy hatékony bevonatot érjen el (film vastagság egységessége ± 5%). Mag vákuumkamráját bevonó kamrába (10^-3Pa-nál kevesebb vagy egyenlő vákuumfok) és egy előkezelő kamrába osztják. Az előbbi biztosítja az alacsony érzékenységű környezetet, az utóbbit a szubsztrát tisztításához és polírozásához használják a tapadás javítása érdekében. A kulcsfontosságú folyamatparaméterek között szerepel az ívforrás-teljesítmény (20-200a), a szubsztrát hőmérséklete (100-300 fok) és a lerakódási sebesség (1-10nm/s), amelyeket a szubsztrát alakja (például komplex ívelt felületek) és az anyag (fém/kerámia) szerint dinamikusan beállítani kell. Ez olyan jelenetekhez alkalmas, mint az optikai lencse reflexiógátló film és a szerszám kemény bevonat.