A mágneses porlasztó berendezések működési elve az elektronok E × B sodródásának mozgásán alapul, elektromos és mágneses mezők hatására. Az ionokat az elektronok és az argon atomok ütközésével generálják, és a célanyagot bombázzák, hogy a szubsztrátumot porlaszthassák és vékony fóliát képezzenek. A rossz vezetőképességgel rendelkező célok szigeteléséhez a porlasztási folyamat fenntartásához a rádiófrekvenciás porlasztás (RF) szükséges.
