A vékonyrétegű anyagokat hordozóanyagok (például kijelzőüveg és optikai üveg) felületén növesztik, és jellemzően bevonóanyagokból, például fémekből, nem{0}}fémekből, ötvözetek vagy vegyületekből állnak. Számos tulajdonsággal rendelkeznek, beleértve az anti--reflexiót, abszorpciót, a levágást, a spektrális diszperziót, a visszaverődést és a szűrést, az interferenciát, a védelmet, a vízszigetelést és a foltállóságot, az antisztatikus tulajdonságokat, a vezetőképességet, a mágneses permeabilitást, a szigetelést, a kopásállóságot, a magas hőmérséklettel szembeni ellenállást, a korrózióállóságot, az oxidációval szembeni ellenállást, a sugárzás elleni védelmet, a dekorációt és a kompozit funkciót. Jelentősen javíthatják a termék minőségét, elérhetik a környezetvédelmet és az energiamegtakarítást, meghosszabbíthatják a termék élettartamát és javíthatják az eredeti teljesítményt. Jelenleg a főbb vékonyréteg-előkészítési technológiák két fő rendszert foglalnak magukban:
fizikai gőzleválasztás (PVD)és kémiai gőzleválasztás (CVD).
1. Porlasztó bevonattechnológia Ez a technológia ionokat hoz létre ionforrás segítségével, felgyorsítja és vákuumban konvergálja azokat, hogy nagy sebességű ionnyalábot képezzenek, amely szilárd felületet bombáz. Az ionok kinetikus energiát cserélnek a szilárd felületen lévő atomokkal, aminek következtében a szilárd atomok leválnak a szubsztrátumról és lerakódnak a hordozó felületére. A bombázott szilárd anyagot, amelyet vékony filmrétegek felhordásának nyersanyagaként használnak, porlasztó célpontnak nevezik. A céltárgy főként egy céldarabból és egy hátlapból (hátsó csőből) áll: a céltábla, mint az ionsugár által bombázott magkomponens, felületi atomjait porlasztották és filmbe rakják le; a hátlap rögzítést és támasztást biztosít, valamint kiváló elektromos és hővezető képességgel rendelkezik. Ez a technológia olyan előnyöket kínál, mint a jó film egyenletessége, szabályozható vastagsága és kiváló ismételhetőség. Az előkészített fóliák nagy tisztaságúak, nagy sűrűségűek és kiváló tapadásúak, így a vékonyréteg-előkészítés egyik fő technológiája, és elősegíti a nagy -értékű-porlasztási célpontok iránti kereslet folyamatos növekedését.
2. Vákuumos elpárologtatásos bevonattechnológia Ez a technológia magában foglalja az anyag felmelegítését vákuumkörnyezetben egy párolgási forrás segítségével az elpárologtatáshoz, amely azután a szubsztrátum felületére lerakódva vékony filmet képez. Az elpárolgott anyagot párologtató anyagnak nevezik, és a rendszer három fő modulból áll: egy vákuumkamrából, egy párologtató forrásból és egy hordozó szerelvényből. A párolgási forrásnak egyszerre kell tartania a párolgó anyagot, és elegendő hőt kell biztosítania a szükséges gőznyomás eléréséhez. Ezt a technológiát a könnyű kezelhetőség és a gyors filmképződés jellemzi, és elsősorban kis-méretű hordozóanyagok bevonására alkalmas.
Ez a két típusú PVD technológia együtt alkotja a modern funkcionális vékonyréteg-előkészítés technológiai alapját. Az anyagtudomány és a vákuumtechnika mélyreható integrációja révén folyamatosan ösztönzik a technológiai innovációt az olyan élvonalbeli területeken,{1}}mint az optoelektronika, az új energia és a félvezetők.
