Bár sokféle ionforrás létezik, céljuk lényegében ugyanaz: online tisztítás, a bevont felület energiaeloszlásának javítása és a reaktáns gáz energiájának modulálása. Az ionforrások jelentősen javíthatják a fólia és a hordozó közötti kötési szilárdságot, miközben javítják a film keménységét, valamint a kopás- és korrózióállóságát is. Szerszámkopásálló-rétegekhez, amelyek általában vastagabbak, és nem igényelnek nagy egyenletes rétegvastagságot, nagyobb ionáramú és energiaszintű ionforrások, például Hall-ionforrások vagy anolit ionforrások használhatók.
Az anódos ionforrások a Hall ionforrásokhoz hasonló elven működnek. Egy keskeny gyűrű alakú (téglalap vagy kör alakú) résen belül erős mágneses mezőt alkalmazunk, amely az anód hatására ionizálja a munkagázt és a munkadarab felé irányítja. Az anódos ionforrások nagyon nagyra és hosszúra tehetők, így különösen alkalmasak nagy munkadarabok, például építészeti üvegek bevonására. Viszonylag nagy ionáramot is kínálnak. Ionáramuk azonban diffúzabb, az energiaszint-eloszlásuk pedig túl széles. Általában nagy munkadarabokhoz, üvegekhez, csiszolófelületekhez és dekorációs elemekhez alkalmasak. Alkalmazásuk fejlett optikai bevonatokban azonban nem elterjedt.
Bár sokféle ionforrás létezik, céljuk lényegében ugyanaz: online tisztítás, a bevont felület energiaeloszlásának javítása és a reaktáns gáz energiájának modulálása. Az ionforrások jelentősen javíthatják a fólia és a hordozó közötti kötési szilárdságot, miközben javítják a film keménységét, valamint a kopás- és korrózióállóságát is. Szerszámkopásálló-rétegekhez, amelyek általában vastagabbak, és nem igényelnek nagy egyenletes rétegvastagságot, nagyobb ionáramú és energiaszintű ionforrások, például Hall-ionforrások vagy anolit ionforrások használhatók.
Az anódos ionforrások a Hall ionforrásokhoz hasonló elven működnek. Egy keskeny gyűrű alakú (téglalap vagy kör alakú) résen belül erős mágneses mezőt alkalmazunk, amely az anód hatására ionizálja a munkagázt és a munkadarab felé irányítja. Az anódos ionforrások nagyon nagyra és hosszúra tehetők, így különösen alkalmasak nagy munkadarabok, például építészeti üvegek bevonására. Viszonylag nagy ionáramot is kínálnak. Ionáramuk azonban diffúzabb, az energiaszint-eloszlásuk pedig túl széles. Általában nagy munkadarabokhoz, üvegekhez, csiszolófelületekhez és dekorációs elemekhez alkalmasak. Alkalmazásuk fejlett optikai bevonatokban azonban nem elterjedt.
A Hall-ionforrás avákuum bevonó géperős axiális mágneses tér hatására ionizálja a folyamatgázt. Ennek az axiális mágneses térnek az erős kiegyensúlyozatlansága elválasztja a gázionokat és ionnyalábot képez. Az axiális mágneses tér erőssége miatt a Hall-ionforrás ionnyalábjának további elektronokra van szüksége az ionáramlás semlegesítéséhez. Gyakori semlegesítési forrás a wolframszál (katód).
