Bevezetés a vákuumbevonatba

A bevonandó szubsztrátot szubsztrátnak nevezzük, és a bevonandó anyagot célnak nevezzük. A szubsztrát és a cél ugyanabban a vákuumkamrában vannak.
A párolgási bevonat általában melegíti a célt, hogy a felületi komponenseket atomcsoportok vagy ionok formájában elpárologtassák. És a szubsztrát felületére helyezkedik el, és vékony filmet képez a film formációs folyamatán keresztül (szétszórt pontok-sziget szerkezet-vaga szerkezetű szerkezetű növekedés). A bevonás porlasztásához egyszerűen úgy érthető, hogy a célt elektronokkal vagy nagy energiájú lézerekkel bombázza, és a felületi alkatrészeket atomcsoportok vagy ionok formájában porlasztva, és végül a szubsztrát felületére helyezve, a film formációs folyamatán átmenő és végül egy vékony fóliát képezve.