Az optikai vákuumbevonatoló gép egy vákuumrendszerből, egy elpárologtató rendszerből, egy hűtőrendszerből és egy elektromos rendszerből áll. A vákuumrendszer egy vákuumtartályból és egy kipufogórendszerből áll. A vákuumtartály a bevonógép fő része, és a bevonási folyamat a vákuumtartályban fejeződik be. A vákuumtartályt és a kipufogórendszert összekötő szelep köti össze. A levegőmolekulák porlasztott ionokra gyakorolt hatásának megelőzése és a filmréteg minőségének javítása érdekében az optikai komponenseket és az ionforrást működés közben vákuum környezetbe kell helyezni.
A kipufogórendszer főként egy mechanikus szivattyúból, egy Roots szivattyúból és egy vákuumszivattyúból áll, amelyek a vákuumtartályban lévő gáz elszívásáért és a tartályban vákuumkörnyezet kialakításáért felelősek. Az elpárologtató rendszer főként a filmképző berendezésre vonatkozik. A bevonógépben sokféle filmképző eszköz található, például ellenállásfűtés, elektronágyús elpárologtatás, magnetronporlasztás, rádiófrekvenciás porlasztás, ionozás stb.
Az optikai vákuumbevonatoló gépek vákuumporlasztással vékony filmeket visznek fel az optikai alkatrészekre, módosítva a beeső fény visszaverő képességét és áteresztőképességét. Az alkatrész felületén a visszaverődési veszteségek minimalizálása és a képminőség javítása érdekében gyakran több réteg vékony filmet alkalmaznak. Az optikai alkatrész bevonása után a fény többszörösen visszaverődik és áthalad a többrétegű film felületén, több interferencianyalábot képezve. A filmrétegek vastagságának és törésmutatójának szabályozásával változó intenzitáseloszlás érhető el. Ez az elv használható polarizáló fényvisszaverő fóliák, színhasító fóliák, hidegfény-filmek és interferenciaszűrők gyártására a bonyolultabb igények kielégítésére.
