Az ionozás vákuumkörülmények között gázkisülést alkalmaz a gáz vagy az elpárolgott anyag ionizálására. Gázionok vagy elpárolgó anyagionok bombázása során az elpárolgott anyag vagy reaktánsai lerakódnak a munkadarabra. Ide tartozik a magnetronos porlasztó ionos bevonat, a reaktív ionos bevonat, az üreges katód kisülésű ionbevonás (üreges katód elpárologtatás) és a több-íves ionos bevonat (katódívionos bevonat). Az ionbevonat az izzító kisülést és a plazmatechnológiát vákuumpárologtatással ötvözi, jelentősen javítva a bevonat teljesítményét és kiterjesztve annak alkalmazását. Amellett, hogy megosztja a vákuumporlasztás előnyeit, az ionbevonat erős filmtapadást, kiváló diffrakciós tulajdonságokat és bevonóanyagok széles választékát kínálja.
Ennek következtében az elmúlt években gyors fejlődésen ment keresztül hazai és nemzetközi szinten egyaránt. Az ionos bevonat alapelve a fém vagy ötvözet gőzének ionizálása inert gáz izzításával vagy ívkisülésével. Az ionozás magában foglalja a bevonóanyag (például TiN és TiC) melegítését, elpárologtatását és lerakódását.
Amint az elpárolgott bevonatanyag atomjai áthaladnak az izzási zónán, egy kis része ionizálódik, és az elektromos tér hatására a munkadarab felé repül, több ezer elektronvolt energiával csapva a felületre. Több nanométer mélységig képesek behatolni az aljzatba, jelentősen javítva a bevonat tapadását. Az egyesített elpárolgott anyagatomok közvetlenül a munkadarabon kerülnek le, és filmet képeznek. Az inert gázionok és a bevonóanyag-ionok a munkadarab felületén történő porlasztása szintén eltávolítja a szennyeződéseket, ezáltal javítja a tapadást.
Az ionos vákuumbevonatoló gépek, a párologtatós bevonógépek és a magnetronos porlasztó bevonógépek által használt technológiák eltérőek. Ezeknek a bevonattechnológiai elveknek megvannak a maga előnyei is. Különböző bevonási módszerek választhatók a bevonó munkadarab és filmréteg szerint, hogy megfeleljenek a piaci igényeknek.
