A vízszintes mágneses porlasztási bevonási vonal egy fontos fizikai gőzlerakó berendezés konfigurációja.
Alapvető jellemzője, hogy a szubsztrátot (munkadarabot) vízszintesen helyezik el a bevonat során.
Ez az elrendezés egyedi tulajdonságokat és alkalmazás előnyeit hozza létre, így pótolhatatlanná teszi az egyes területeken.
Alkalmazások:
Többrétegű kompozit filmek lerakódása az üveg, a kerámia és a lapos termékek felületén;
Jellemzők:
Horizontális szubsztrát elhelyezés
Ez az alapvető jellemző. A szubsztrátot (például üveglemez, szilícium ostya, fémlemez, műanyag lemez stb.) Vízszintesen helyezzük egy hordozóra (például egy tálcára, keretre), vagy vízszintesen szállítják a bevonat területén egy szállítószalagon.
Folyamatos termelés
A vízszintes vonalak nagyon alkalmasak a folyamatos vagy egymáshoz tartozó termelés tervezésére.
A szubsztrátokat szekvenciálisan betölthetjük, elküldhetjük a porlasztó kamrába bevonathoz, majd elküldhetjük és kirakodhatjuk, elérve a hatékony nagyszabású összeszerelési vonal műveleteket.
Könnyen integrálható automatizálás
A vízszintes elhelyezés és a lineáris elrendezés nagyon kényelmes az automatizált robotok, szállító rendszerek (például görgők, láncszalagok, robotok), online érzékelő berendezések stb. Integrálásához, a nagymértékben automatizált termelés elérése érdekében.
Lapos szubsztrátokhoz
Különösen jó a lapos vagy kissé ívelt szubsztrátok feldolgozásában (például építészeti üveg, fotovoltaikus üveg, síkképernyős kijelző, rugalmas tekercsek).
A gravitáció kis befolyása
A vízszintes elhelyezés a gravitációs irányba merőleges a szubsztrát felületére.
A porlasztási folyamat során előforduló részecskék esetében a gravitációs ülepedés hatása a filmréteg egységességére viszonylag kicsi (a függőleges típushoz képest).
Kényelmes működés és karbantartás
A fő berendezések és alkatrészek általában olyan magasságokban helyezkednek el, amelyek könnyen hozzáférhetők a szolgáltatók számára, így a napi működést, a megfigyelést és a karbantartást kényelmessé teszik.
Előny:
Rendkívül magas termelési hatékonyság és kapacitás
Folyamatos termelés:
Ez a vízszintes vonal legnagyobb előnye. A szubsztrát folyamatosan bemenhet és kimenetet lehet, és a porlasztási folyamat befejeződik a szubsztrátum folyamatos vagy lépésről lépésre történő mozgása során, amely különösen alkalmas nagyszabású, egyetlen vagy korlátozott fajta termelési igényekhez.
Kiváló, nagy területű bevonat egységessége
A lapos szubsztrátokhoz (különösen a téglalap alakú üveglemezeknél) nagyon magas film vastagságú egységessége egy nagy területen érhető el a cél elrendezésének, a mágneses mező eloszlásának, a szubsztrát átviteli sebességének és a cél-szubsztrát távolságának gondos megtervezésével.
Kiváló folyamatstabilitás és megismételhetőség
A nagymértékben automatizált és folyamatos folyamatok csökkentik az emberi beavatkozást és az operatív hibákat
A stabil szállító sebesség és a pontos folyamatparaméterek szabályozása (gáznyomás, teljesítmény, gázáram) biztosítja a folyamat stabilitását a tételek és a hosszú ideig.
Kiváló szubsztrát kompatibilitás és rugalmasság
Változatos anyagok: különféle lapos szubsztrátumokhoz, például üveg, fémlemezek, szilícium ostyák, kerámia és specifikus műanyagokhoz alkalmas.
Könnyen elérhető többrétegű filmlerakódás
A különféle anyagok porlasztási célpontjainak rendezésével a szállítási úton, és átadva a szubsztrátot ezeken a célpozíciókon keresztül, a több anyag vékony fóliái folyamatosan lerakódhatnak egy szállító folyamatban, hogy komplex többrétegű filmrendszert képezzenek (például az alacsony-e pohár ezüst alapú többrétegű filmje és a fotovolttív vékony cellák halmozott szerkezete).
Népszerű tags: Vízszintes magnetron porlasztó bevonóvezeték, Kína vízszintes mágneses porlasztó bevonóvonal gyártók, beszállítók, gyár
