A multi-ARC bevonógép ionforrása hideg katód vákuum ív kisülésen alapul. A katód célanyagának foltjai mozognak. A foltok fémgőzt bocsátanak ki és ionizálódnak ionokká. Az ionokat a munkadarab felületén helyezik el, hogy bevonatot képezzenek. A multi-ívű bevonógép ionforrása működési alapelve az, hogy ív kisülést generáljon vákuum környezetben a katód célanyagon keresztül, hogy nagy sűrűségű plazmát képezzen. Amikor az áram áthalad a célanyagon, apró foltok alakulnak ki a felszínen, és nagy sebességgel mozognak. Ezek a foltok elpárolognak és ionizálják a célanyagot fémionok előállításához. Ezeket az ionokat felgyorsítják, hogy az elektromos mező hatása alatt repüljenek a munkadarab felé, és végül a felületre helyezzék el, hogy egyenletes és sűrű bevonatot képezzenek.
